[:de]Silicon Alps SpotLight “No challenge too small: Nanoanalysis for future electronic systems” [:]

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Datum/Zeit
Date(s) - 23/01/2018
15:00 - 17:00

Veranstaltungsort
FELMI-ZFE, Seminarraum, 3. Stock

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SPOTLIGHT ON FELMI-ZFE

Wo: Steyrergasse 17 | Seminarraum, 3.Stock
8010 Graz (Achtung, Raum geändert!)

Wann: 23 Januar  2018, 15:00 Uhr – 17:00 Uhr

Am 23. Januar 2018 öffnet das FELMI-ZFE seine Tore und gibt Ihnen einen einzigarten Einblick in die facettenreiche Welt der Nanoanalytik. In 3 Vorträgen erfahren Sie mehr über die Vorteile und die erfolgreiche Anwendung von Methoden der hochauflösenden analytischen Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) und ihre Relevanz für mikro- und nanostrukturierte elektronische Bauteile, wie etwa Halbleiterbauelemente oder keramische Devices.
Neben einer Führung durch das FELMI-ZFE freuen wir uns, Sie zum anschließenden Netzwerken mit Buffet einzuladen.

Programm

Ferdinand Hofer: “Das FELMI-ZFE”
Rainer Minixhofer (ams AG) und Werner Grogger: “Elektronenmikroskopische Untersuchung von Grenzflächen in Halbleiterbauelementen”
Georg Haberfehlner: “Elektronentomographie – 3D Materialanalyse mit atomarer Auflösung”

Bild1: Failure analysis of metal interconnects on semiconductor samples (red: W, green: Ti, blue: Si)

Bild 2: Atomically resolved HRSTEM image of an interface between silicon (bottom layer) and germanium (top layer), showing the effect of the slight discrepancy between the two materials lattice parameters – the germanium lattice in the upper part of the image shows crystal defects that were formed during deposition to compensate for the mismatch.

Das FELMI-ZFE besteht seit 65 Jahren und ist ein Forschungsverbund, der sich aus dem Institut für Elektronenmikroskopie und Nanoanalytik (FELMI an der TU Graz) und dem Zentrum für Elektronenmikroskopie Graz (Mitglied der ACR-Gruppe) zusammensetzt. Die Forschungs- und Dienstleistungseinrichtung bietet allen Interessierten aus dem universitären und industriellen Bereich ein umfassendes Spektrum modernster elektronenmikroskopischer Untersuchungsmethoden zur mikrostrukturellen und mikrochemischen Charakterisierung von anorganischen und organischen Materialien, elektronischen Bauelementen, pharmazeutischen wie auch biologischen Systemen.

  • Ferdinand Hofer hat an der TU Graz studiert und hier auch im Bereich Physikalische Chemie promoviert. Er leitet das Institut für Elektronenmikroskopie und Nanoanalytik der TU Graz und das Zentrum für Elektronenmikroskopie Graz.
  • Rainer Minixhofer studierte Physik an der TU Graz und promovierte am Institut für Mikroelektronik an der TU Wien. Seit 2007 ist er bei der ams AG beschäftigt, wo er im Bereich Research & Development tätig ist und mittlerweile die Position des Head of Technology bekleidet.
  • Georg Haberfehlner studierte an der TU Wien Elektrotechnik. Vier Jahre war er in Grenoble am CEA-Leti tätig, einem der größten Forschungsinstitute für Mikroelektronik und Nanotechnologien Europas. Der Physiker ist Senior Scientist am FELMI-ZFE, wo er dreidimensionale Abbildungsmöglichkeiten im Transmissionselektronenmikroskop (TEM) entwickelt und damit die grundlegenden Eigenschaften von verschiedenen Materialien in kleinsten Dimensionen erforscht.
  • Werner Grogger hat technische Physik an der TU Graz studiert und sich dort 2004 habilitiert. Seit 1990 ist er am FELMI-ZFE beschäftigt, war um 2000 im Rahmen eines Forschungsaufenthaltes am National Center for Electron Microscopy in Berkeley, Kalifornien, und ist mittlerweile Arbeitsgruppenleiter im Bereich der analytischen Transmissionselektronenmikroskopie.

Unsere Gastgeber und wir vom Silicon Alps Team freuen uns auf Sie!

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